熱探針法是一種用於測定半導體導電類型的技術。它的基本原理是利用被加熱的鎢探針與室溫下半導體表面相接觸產生的溫差電動勢來判斷半導體的導電類型。這種方法簡單易用，對樣品的預處理要求低，並且無需加偏壓，因此在半導體材料的電學性質研究中受到青睞。
此外，熱絲探針法是熱探針法的一種改進，它將電加熱絲封裝在小直徑金屬管中，探針內的電加熱絲既作爲加熱元件，也作爲測溫元件。其原理是利用電加熱絲電阻隨溫度變化而變化，通過測量加熱過程中電加熱絲電阻的變化，可以得到溫度的變化。這種方法快捷便利，並且能夠通過記錄溫度與探頭的響應時間來計算材料的熱擴散係數和導熱係數等熱性質。