什麼是製程整合

製程整合是指將多個獨立的製程，如薄膜塗覆、成型、刻蝕等，通過共享設備、控制系統和資源等方式整合在一起，在同一裝備上完成多項製程的技術。

這種整合的意義在於提高製程效率、降低成本，減少裝片、工序和烘烤的重複操作，縮短生產周期，降低製造成本和能耗。薄膜製程整合的原理是通過構建多層膜結構，在同一裝備上實現多個製程的集成。常用的整合方法包括共享控制、共享基板、共享氣路和共享裝置等。這種整合技術有助於實現自動化控制、實時監測，並提高製程效率。