六氟乙烷（C2F6）是一種無色氣體，具有廣泛的工業套用。其主要用途包括：
絕緣氣體和等離子蝕刻劑。六氟乙烷被用作電氣設備中的絕緣氣體以及半導體製造過程中的等離子蝕刻劑。
表面清洗劑。在微電子工業中，六氟乙烷用於清洗電子器件表面，特別是在處理超大規模積體電路時。
製冷劑。其作為超低溫製冷劑，套用於科研和醫療領域，如手術中的低溫製冷。
高介電強度的冷卻劑。六氟乙烷也用於要求高介電強度的冷卻套用中。
化學反應中的氟化物添加劑。其被用作化學反應的氟化物添加劑。
光纖生產。六氟乙烷還用於生產光纖。
此外，六氟乙烷還具有無毒無臭、高穩定性等特點，使其在半導體製造過程中被廣泛套用，例如作為蝕刻劑、化學氣相沉積（CVD）後的清洗氣體，在等離子工藝中作為二氧化矽和磷矽玻璃的乾蝕氣體。