原子化的方法主要有以下幾種：
火焰原子化法：這是最常用的方法，包括空氣-丙烷、空氣-氫氣、空氣-乙炔、氧化亞氮-乙炔等。其中，空氣-乙炔組合是最常用的。
無火焰原子化法：包括石墨爐原子化器和氫化物發生法。石墨爐原子化器通過大電流通過石墨管產生高溫使樣品蒸發和原子化。氫化物發生法是在酸性介質中，以硼氫化鉀作為還原劑，使某些元素還原生成氫化物的氣體，然後將這種氣體引入火焰或加熱的石英管中進行原子化。
氫化物發生法：只能用於少數幾種試驗，可以進行砷(As)、硒(Se)、銻(Sb)的高靈敏度分析。
以上三種方法中，火焰原子化法和無火焰原子化法都可以分為兩個主要階段：從溶液霧化至蒸發為分子蒸氣的過程，以及從分子蒸氣至解離成基態原子的過程。