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四氟化鈦是什麼

四氟化鈦,化學式為TiF4,是一種極易吸水的白色粉末,熔點為284℃,相對密度為2.798,在100℃時與矽氯仿反應生成矽氟仿。

四氟化鈦在微電子工業上有廣泛套用,如用於化學氣體沉積製作低電阻、高熔點的互連線,也可作為HF氟化CCl4及烯烴異構化等反應的催化劑。並且,四氟化鈦可以溶於硫酸、乙醇和吡啶,但不溶於乙醚。