均方根法（Root-Sum-Squares，RSS）是一種統計分析方法，主要用於尺寸鏈中各個尺寸公差的處理。其基本原理是將尺寸鏈中各個尺寸公差的平方之和進行開方，從而得到關鍵尺寸的公差。
使用均方根法的前提是，製造加工出來的零件尺寸數值比較集中於中心值，且輸出呈常態分配。此外，如果公差疊加分析中一個單獨的公差是在±3σ的過程控制下生產的，那麼均方根法公差疊加分析的結果也代表了±3σ，即輸入的過程控制等級也代表了輸出的工程控制等級。
均方根法的套用流程包括定義公差分析的目標尺寸和判斷標準、建立閉合尺寸鏈、將非對稱公差轉換為對稱公差、判斷尺寸鏈中尺寸的正負、計算目標尺寸的名義值、選用公差分析方法、進行公差分析的計算、進行判斷和最佳化，以及在公差分析結果圖紙上進行標註。