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干式真空泵有哪些

乾式真空泵的種類繁多,根據基本原理可以分爲兩大類:

容積式真空泵。這類泵通過改變容積來輸送氣體,包括多級羅茨泵、爪式泵、往復活塞泵、螺桿泵、渦旋泵等。

動量傳輸式真空泵。這類泵通過改變氣體的動量來輸送氣體,包括渦輪式真空泵等。

此外,還有其他特殊類型的乾式真空泵,如氣冷羅茨真空泵、無油隔膜泵等。這些泵因其不同的工作原理和結構設計,適用於不同的應用場景,例如,往復式真空泵適用於需要高抽氣量的場合,而螺桿真空泵則適用於需要低噪音和低水蒸氣含量的環境。