微加工方法

微加工方法是一種精細加工技術，主要用於製造直徑在幾微米到幾十微米範圍內的微小孔洞。這些方法包括：

電子束加工：通過高速電子束的能量對材料進行加工，通過控制電子束的聚焦和聚束實現微小孔的形成。

離子束加工：使用高能離子束對材料進行剝蝕，形成微小孔洞。

微細加工：包括微細線切割、光刻技術等，這些方法也常用於微小孔的加工。

這些技術在微電子、微機械、生物醫學等領域有著廣泛的套用。