文獻分析法是一種研究方法，它包括以下幾個主要步驟：
確定研究目的和問題。這是文獻分析的首要步驟，研究目的和問題的不同會決定文獻收集和描述的範圍，以及分析的重點。需要明確文獻研究法是作爲輔助性方法還是獨立的研究方法使用，這會影響後續的文獻收集、整理、解讀和分析。
文獻收集。這一步驟包括確定文獻的內容範圍、時間範圍和類別，準備收集和描述文獻，如與相關機構或個人建立聯繫，設計收集和描述大綱。文獻收集的途徑可以是向個人索取或到特定收藏地點獲取。在收集過程中，要注意文獻的真僞、來源的可靠性，並記錄文獻來源以保證引用的規範性。
文獻的整理。收集到的文獻資料需要經過整理，使之系統化，從而揭示事物或現象的本質和內在規律。整理過程包括檢查、覈實資料，修正錯誤和遺漏，分類編碼，以及綜合簡化。
以上步驟是一般性的指導，實際進行文獻分析時可能還需要根據具體的研究領域和問題進行調整。例如，在歷史研究方法中，可能會側重於使用歷史資料，按照歷史發展的順序對過去事件進行研究；而在比較研究方法中，則可能側重於比較不同事物之間的相似性和差異性。