晶舟有兩種主要含義,分別在半導體行業和更廣泛的工業領域中有所不同。
半導體晶舟:
定義:半導體晶舟是一種用於微電子器件封裝的高性能材料。
特點和優勢:
高熱導率:提供優於傳統封裝材料的散熱能力,保護微電子元器件。
高可靠性:具有良好的機械強度和熱穩定性,確保微電子元器件的長期穩定運行。
高集成度:能夠實現多晶片集成,減小封裝體積,提高集成度。
環保型:不含有毒物質,符合環保標準,保護環境。
套用:由於其獨特的特點和優勢,半導體晶舟在半導體行業中得到了越來越廣泛的套用和發展。
晶舟(Cassette):
定義:在晶圓製造過程中,晶舟是一種特製的架狀載具,用於承載晶圓片。
功能:在製造過程中,晶圓一片一片地放入架中,然後將整個架子放入晶圓盒內,以便於運輸和保護晶圓片。
特性:
防靜電損害:具有防靜電功能,保護晶圓片不受損害。
耐磨損、低污染:材質和設計具有耐磨損和低污染的特性,保證晶圓片的清潔度。
氣密性好、耐溫:良好的氣密性和耐溫性能,適應不同的製造環境。
標準與兼容性:設計參數通常符合 SEMI 標準,以保證在不同廠商的設備中順利運輸和使用。特殊設備可能使用專用晶舟,需要進行晶圓片的轉移操作。
綜上所述,晶舟在半導體行業中扮演著至關重要的角色,無論是作為微電子器件封裝的材料還是作為晶圓製造過程中的載具,都體現了其在技術創新和工業套用中的重要價值。