氯矽烷是一種重要的化學物質，具有多種用途。以下是一些詳細的套用領域：
化工領域。氯矽烷用於生產氨基矽油、矽酸甲基、有機矽聚合物和塗料等。它還用於製備表面活性劑等。
電氣電子領域。氯矽烷用於製備半導體材料、LCD顯示器、太陽能電池、LED封裝等。在太陽能電池製造中，它可用作矽源材料，通過裂解和重組反應生成多晶矽材料，用於製造太陽能電池中的n型或p型矽晶片。
功能性材料領域。氯矽烷可以形成有機矽聚合物，在水泥、玻璃等建築材料中用於防水、防潮、防腐等。
醫藥領域。氯矽烷可用於製備有機矽藥物。
食品工業。氯矽烷用作食品添加劑，如防止蛋糕粘連。
農業。氯矽烷用於製造植物保護劑。
此外，氯矽烷還可用作矽橡膠的交聯劑、管道和密封材料的塗層、粘合劑、柔軟劑、金屬表面處理劑等。