特氣是什麼意思

特種氣體

特氣，全稱特種氣體，是一種純度較高、製備和使用工藝較為複雜的氣體，在大氣壓下不能自然存在。

特氣通常是易燃易爆、有毒、有腐蝕性，用於滿足特定需求，如晶片製程、半導體生產、液晶顯示、太陽能電池製造等。這類氣體的純度一般超過99.999%（即5N級別），遠高於普通空氣的純度。在半導體行業中，特氣對於提高鋁刻蝕的各向異性能力等方面發揮著關鍵作用。全球範圍內，特氣市場主要由美國空氣化工、普萊克斯、德國林德、法國液化空氣和日本太陽日酸等企業主導。