甲矽烷，也稱為四氫化矽，是一種矽與氫的化合物，化學式為SiH4。
甲矽烷是矽烷的一種，其結構與甲烷相似，呈正四面體結構，它是一種無色氣體，具有刺激性氣味，在空氣中易自燃，甲矽烷的熔點為-185°C，沸點為-111.8°C，相對密度為1.44，它不溶於水、乙醇、乙醚、苯、氯仿等。
甲矽烷在微電子、半導體、顯示面板等領域有廣泛套用，也可用於化工、玻璃等行業，在特定溫度與壓力條件下，甲矽烷還可作為超導體使用，此外，高純度的甲矽烷還可以用於製造單晶矽、多晶矽、非晶矽、微晶矽、異質矽、氧化矽、氮化矽、金屬矽化物等多種產品。