真空法蘭是真空系統中用於連接兩個真空管道或容器和管道之間的元件，它確保這些連接之間的真空密封。真空法蘭的設計可以是小環形狀，其周長略大於實際連接的管道，邊緣帶有小孔以便於對齊和固定。它們可以是固定式的，也可以是旋轉式的，以適應不同的連接需求。固定式法蘭通常有四到五個孔，而旋轉式法蘭則有更多孔，以便於在不同方向上旋轉時仍能與管道上的孔對齊。真空法蘭也可以通過螺絲擰緊的螺栓填充孔來連接法蘭和管道，或者通過焊接確保壓力不會通過小孔逸出。
真空法蘭主要有幾種類型，包括CF法蘭、KF法蘭、ISO法蘭等。CF法蘭是一種用於超高真空中的法蘭連接，採用金屬靜密封，可以承受高溫烘烤，其原材料通常爲304、316不鏽鋼等，密封材料包括Viton、PTFE、無氧銅等。ISO-KF法蘭是一種快卸法蘭，由兩個成對稱分佈的KF法蘭、O-Ring、定心支架、卡箍等組成，原材料通常爲304、316不鏽鋼等，密封材料包括Viton、Buna、Silicone、EPDM、鋁等。ISO-QF法蘭和NW法蘭也是不同類型的真空法蘭，它們各自有不同的口徑範圍和壓力範圍，適用於不同的真空系統和應用場景。
真空法蘭的應用非常廣泛，包括醫療、製造業、科學研究等領域，它們在高真空各種儀器中常用，用於實現真空管路之間的連接以及與真空泵和真空計的連接。安裝時必須保證嚴密性，否則會影響真空體積和真空質量，甚至可能導致真空系統失效。