真空泵油在真空泵的運行中扮演著至關重要的角色，其主要作用包括：
潤滑：減少摩擦阻力，降低磨損，從而延長機械的使用壽命。
冷卻：通過將摩擦產生的熱量排出泵外，幫助降低設備的溫度。
防鏽：在設備或部件表面形成保護膜，防止生鏽。
減震：分散應力，緩衝負荷，減少振動。
密封防漏、防塵：清除活動部位的碳粒或磨損物，保持泵的清潔和密封性。
此外，真空泵油在油封式真空泵中起到密封和潤滑的作用。它隨著溫度的升高而蒸發，幫助將泵內氣體排出，達到真空狀態。安裝排氣過濾器可以過濾掉氣體中的有害物質，實現真空泵油的循環使用，節約成本，並提高真空泵的性能，延長其使用壽命。