真空泵返油的原因可能包括以下幾點：
使用環境。溫度過高或過低可能影響真空泵的正常工作，增加返油風險，空氣中存在化學氣體、有害物質或粉塵顆粒等污染物也會影響真空泵運行狀態，提高返油可能性。
操作不規範。如啟動或關閉真空泵方式不當，或在運行狀態下啟動其他設備，可能導致液體進入泵體，引起返油。
設備質量。如真空泵存在設計或製造缺陷，或因老化、磨損、疲勞等原因導緻密封性能下降，都可能引起返油。
油品質量不佳。如油品中含有大量水分、雜質，會導致泵油黏度降低，加速泵油變質，引起返油。
泵液過多。過多的泵液會導致泵油溫度上升，黏度降低，出口壓力升高等，從而出現返油現象。
泵油系統設計不合理。如進口管道設計寬度不夠，容易出現泵油失控的現象。
潤滑油選擇不當。如選擇了不適合真空泵使用的潤滑油，會導致潤滑油變稠、變質，從而增加泵的摩擦阻力，導致返油的發生。
真空泵使用時間過長。隨著使用時間的增加，真空泵的各種零部件會發生磨損、老化，影響泵的正常運行，導致返油。
機械油封失效。如機械油封密封不良或磨損過度，就會導致泵內油液向外滲漏，引起返油。
油倒灌或油氣回流。如由於真空泵處於高溫狀態下,或者長時間未用導致油液凝聚，當泵內出現較大幅度的隆起時，超過了泵的容積，就會導致大量的油液倒灌到壓縮室內，使得真空度下降。