真空腔體是什麼

真空腔體是一種充滿低壓氣體或真空的封閉空間。

這種設備通常由至少一箇透明的窗口（光學窗口）和一箇泵組成，用於創建和維持真空環境。在半導體設備中，真空腔體用於製造半導體芯片，提供穩定的真空環境。在材料科學和工程中，真空腔體具有廣泛的應用，因爲其特點包括氣壓低、保護材料、熱交換能力低、機械性能穩定、摩擦損耗小和電學性能優良。例如，PECVD真空腔體是在等離子增強型化學氣相澱積（PECVD）技術工藝中所需的設備。