精密度是表示測量的再現性，是保證準確度的先決條件。精密度的一般表示方法有：
標準偏差（Standard Deviation, SD或S）：描述測量數據的分散程度。
相對標準偏差（Relative Standard Deviation, RSD）：常用於分析時表示精密度。
偏差：一般用偏差、標準偏差或相對標準偏差表示。
相對平均偏差、相對誤差：也可以用來表示精密度。
精密度是指在規定條件下，相互獨立的測試結果之間的一致程度，包括重複性和再現性。在重複性條件下獲得的兩次獨立測試結果的絕對差值不大於這兩個測定值的算術平均值的某個百分比，以大於這兩個測定值的算術平均值的某個百分比的情況不超過5%為前提。