高壓放電
臭氧發生器的工作原理主要基於高壓放電。
臭氧發生器的核心是放電管，通常採用微間隙介質阻擋放電設計，在這種系統中，高壓電（通常在6至8千伏的高頻輸出下產生）通過電纜傳遞給發生器，在放電間隙產生冷態電漿放電，從而生成臭氧。具體來說，當高壓交流電達到一定數值時（如10-15KV），會產生藍色輝光放電（電暈），在電暈中的自由高能離子會離解氧氣分子，這些離解的氧分子經過碰撞聚合形成臭氧分子（O3）。臭氧發生器的性能參數包括臭氧發生量、臭氧濃度、放電電壓和空氣處理介質等。
此外，臭氧發生器可以分為間隙放電式和開放式兩種類型，間隙放電式適用於需要較高濃度臭氧的場合，如水處理；而開放式發生器的電極裸露在空氣中，產生的臭氧直接擴散到空氣中，適用於較小空間的空氣滅菌或小型物品表面消毒。