臭氧的形成主要通過以下幾種方式:
太陽光中的紫外線照射氧氣產生。大氣中約90%的臭氧是通過這一方式形成的。當太陽光中的紫外線照射到大氣中的氧氣(O2)時,氧氣分子會被激活並離解成氧原子,這些氧原子隨後與空氣中的氧氣結合,形成臭氧(O3)。
在高層大氣中,氧氣受到紫外線的作用變成游離的氧原子,這些氧原子再與空氣中的氧氣結合,形成臭氧。
電化學過程。例如,大氣中的水蒸氣在雷電的作用下分解成氫原子和氧原子,氧原子再與氫分子結合形成臭氧。
人為過程。在近地面,臭氧主要由氮氧化物(NOx)和揮發性有機物(VOCs)之間的光化學反應產生。
此外,臭氧也可以通過放射化學法、電解法、介質阻擋放電法等方式人工製備。