阻容法是一種利用電容濕敏元件的阻抗變化來測量煙氣濕度的方法，具有測量範圍廣、回響速度快、精度高、穩定性好、抗干擾能力強等優點，是目前CEMS濕度測量中套用最為廣泛、成熟的技術。其測量原理是根據煙氣排氣中含濕量變化與阻容法的電阻和電容值的變化間的函式關係，直接測量煙氣排氣中含有的水分量。
阻容法濕度儀的主要組成部分有測量探頭、信號處理器、顯示器和輸出器等。其中，測量探頭是阻容法濕度儀的核心部件，它由一個電容器和一個電阻組成，電容器的兩個電極之間填充有一種特殊的介質，該介質的電容值和電阻值會隨著環境濕度的變化而變化。
阻容法的煙氣濕度儀具有測量精度高、回響速度快、穩定性好等優點。但是也存在一些不足，例如對溫度的依賴性較強，需要進行溫度補償；同時電容器的靈敏度也會受到環境中其他因素的影響，例如電磁干擾等。因此在使用阻容法濕度儀時，需要注意選擇合適的測量探頭，定期進行校準，避免受到外界干擾，以保證測量結果的準確性和可靠性。
煙氣濕度儀的套用範圍非常廣泛，例如在火力發電廠、鋼鐵廠、水泥廠、垃圾焚燒廠等地方，煙氣濕度儀可以監測固定污染源的煙氣排放情況。通過準確測量煙氣濕度，可以計算出污染物的質量濃度和體積濃度，從而評估污染物排放的總量和濃度。此外煙氣濕度儀還可以檢測煙氣淨化系統的運行效果，如脫硫、脫硝、除塵等，評價其清潔效果。這些數據對於環境保護和污染治理是非常重要的。