CDSEM（Critical Dimension Scanning Electronic Microscope，關鍵尺寸掃描電子顯微鏡）的工作原理主要涉及以下幾個方面：
電子束的產生與掃描。CDSEM通過電子槍產生高能電子束，這些電子束在樣品表面進行精確掃描，與樣品表面的原子相互作用，產生二次電子和反射電子。
二次電子的檢測。這些電子被檢測器收集，並轉化為輪廓變化的信號，形成樣品表面的二維圖像。
關鍵尺寸的測量。基於這些圖像，可以測量出半導體襯底上圖案的關鍵尺寸（CD），例如線寬、孔徑等。
樣品形貌的觀察與分析。CDSEM不僅用於測量，還可以觀察和分析樣品的表面形貌、尺寸以及其他物理量。
此外，CDSEM的工作還涉及到電子束的聚焦和偏轉，以及樣品台的移動，以擴大掃描範圍和檢測不同角度的樣品形貌。