eds分析是什麼意思

能量色散X射線譜

EDS分析，全稱能量色散X射線譜（Energy Dispersive Spectroscopy），是一種利用不同元素的X射線光子特徵能量差異來進行成分分析的技術。它通過電子束照射樣品產生的特徵X射線，並探測和分析這些X射線來構建一張按X射線能量大小分布的圖譜。EDS分析可以定性、半定量地確定樣品中的大部分元素，常用於材料微區成分的元素種類與含量的分析。EDS分析也被稱為EDX分析，是一項研究微米級化學成分的強大技術，具有操作簡單、分析速度快以及結果直觀等特點。