EDS（Energy Dispersive Spectrometer）操作主要包括以下幾個步驟：
樣品準備。首先，需要對樣品進行乾燥處理，可以使用冷凍乾燥或烘乾的方法。之後，使用雙面膠將樣品與金屬片連線，並進行噴金處理。接著，調整電子顯微鏡（SEM）的焦距，確保圖像清晰，並進行像散調整。
儀器設定。在SEM上開啟EDS分析模式，調整加速電壓、放大倍數和工作距離，以適應樣品的分析需求。
數據採集。在ESPRIT軟體中輸入用戶名和密碼，登錄後進行譜圖採集的預設定。這包括選擇分析用的樣品、調整電子顯微鏡進入EDS分析狀態、重置或檢查系統設定等。
譜圖採集。在EDS分析前，需要準備樣品並選擇Objects功能區域。在點分析模式時，可以調節圖像亮度、對比度，並重新聚焦圖像。譜圖分析時，需要調節電鏡束流以得到需要的計數率。
譜圖分析。在譜圖採集完成後，檢查設備狀態、設定以及電鏡參數，確保QUANTAX系統螢幕上的參數與電鏡設定的參數一致。使用自動的譜儀設定，並調節圖像亮度、對比度，重新聚焦圖像。
報告生成。在完成譜圖分析後，可以導出Word報告，報告中可以包含注釋和圖像。在SmartMap模式下，可以導出X射線面分布圖像的Word報告。
此外，EDS操作還包括線掃描和面掃描模式，這些模式適用於分析樣品表面上的元素分布情況或檢測材料中的界面、元素擴散等。在操作過程中，需要注意不要選擇太亮的地方或有大塊凹下去的地方，以避免影響分析結果。