FIB是指聚焦離子束(Focused Ion Beam),它是一種先進的微納米加工和分析技術。以下是關於FIB的詳細信息:
基本原理:
FIB利用液態金屬鎵(Ga)作為離子源,通過加速和聚焦形成高速的Ga+離子束,照射到樣品表面進行加工和分析。
主要套用:
電路修正:用於驗證原型、改善bug、節省開支並加快上市時間。
縱面結構分析:直接在樣品上進行處理,無需額外樣品準備。
材料分析:用於TEM樣品製備,精確定點試片製作,減少對研磨人員經驗的依賴。
電壓對比:判定Metal(Via/Contact)是否floating。
Grain形狀大小判定:分析晶粒的形狀和大小。
微納米結構的加工:包括刻蝕、切割、材料沉積等。
技術優勢:
FIB系統具有納米級別的顯微分辨能力,可以在高倍顯微鏡下操作,實現微納米圖形的檢測分析和無掩模加工。
它能夠進行定點切割、選擇性的材料蒸鍍(如鉑、鎢沉積)以及強化性蝕刻或選擇性蝕刻。
套用領域:
廣泛套用於物理、化學、生物、地學、礦物、金屬、半導體、陶瓷、高分子、複合材料、納米材料等領域的研究和產品檢驗。
與醫學的關係:
雖然FIB在醫學領域主要指纖維蛋白原(FIB是FIBRINOGEN的縮寫),但與聚焦離子束技術(Focused Ion Beam)是兩個不同的概念,後者專注於材料科學和微電子領域的套用。
綜上所述,FIB是一種多功能的微納米加工和分析技術,它在現代科學研究和工業生產中發揮著重要作用。