GDMS（輝光放電質譜法）是一種先進的分析技術，廣泛套用於材料科學、地質學、環境科學等領域。以下是關於GDMS的詳細介紹：
工作原理：GDMS利用輝光放電作為離子源，與質譜儀器聯接進行質譜測定。在輝光放電離子源中，氬氣被電離並在電場中加速，撞擊樣品表面產生濺射，樣品原子被送入電漿中進一步離子化，最終被質譜分析器收集檢測。
特點：GDMS具有直接固態取樣、高離子源電離能力、高靈敏度、高解析度、良好的重現性和再現性等優點。它幾乎可以分析周期表中所有元素，除了C、O、H、N外，並且能夠對無機粉末、鍍膜/基材和非導電性材料直接檢測，提供各種元素的信息。
套用：GDMS在材料科學領域用於控制和表徵反應性和非反應性電漿沉積過程，特別適合高純物質的分析。它還可以用於研究材料的腐蝕和磨損機制，以及進行材料的質量控制和故障分析。在地質學領域，GDMS用於研究岩石和礦石中的元素組成，提供地質過程和岩石形成的信息。此外，GDMS還用於半導體材料製造行業和電子材料製造行業，提供純度精確測量方案。
以上信息概括了GDMS的基本原理、特點和套用，希望對您有所幫助。