pfc是什麼氣體

全氟化合物

PFC是一種全氟化合物，在氣體分類中，常見的PFC氣體包括CF4（四氟甲烷）、C2F5（全氟乙烷）和CHF3（全氟丙烷）等。這些化合物在常溫下通常是無色、無臭、不燃的，且不易溶於水。在半導體制造領域，PFC氣體主要用作清潔氣體和工藝氣體，尤其是在CVD（化學氣相沉積）工序和幹法刻蝕工序中。四氟甲烷（PFC-14）是一種極其穩定的液化氣體，廣泛應用於微電子工業中的等離子蝕刻過程，以及科研製冷、醫用製冷等領域。由於其化學穩定性極強，PFC氣體還可以用於金屬冶煉和塑料行業等。