SEM（掃描電子顯微鏡）和TEM（透射電子顯微鏡）的工作原理如下：
SEM。它使用細聚焦的電子束掃描樣品表面，並檢測由此激發的各種物理信號（如二次電子、背散射電子等）來形成圖像。電子束從樣品激發出的各種物理信號被探測器接收，通過信號處理並調製顯示器的亮度，從而在螢幕上形成反映樣品表面形貌的圖像。
TEM。它使用電子束穿透樣品，然後通過檢測透過樣品的電子（透射電子）或被樣品散射的電子（衍射電子）來形成圖像。電子束經過聚焦和加速後穿透樣品，樣品的內部結構通過電子的透射或衍射在螢光屏上形成圖像。
簡而言之，SEM通過檢測從樣品表面激發出的電子來形成圖像，而TEM則通過檢測穿透樣品的電子來形成圖像。這兩種技術都以電子束為照明源，但它們的成像機制和套用領域有所不同。