XRD（X射線衍射）晶相分析是一種重要的材料結構分析方法，它可以通過分析X射線與物質相互作用產生的衍射圖譜來確定物質的晶體結構。具體分析步驟包括：
確定晶體結構類型。使用相應的晶體結構模型進行模擬，然後與參考資料庫中的標準模式進行比較，以確認物質種類。
分析衍射圖譜。通過觀察峰形特徵，可以推斷材料的晶格常數和晶體取向。例如，晶體沿c軸生長時，晶格常數的變化會導致衍射峰位置發生改變。峰的尖銳程度通常表示晶體的結晶質量，尖銳的峰通常意味著較高的結晶度和較少的結構缺陷。
定量分析。通過分析峰面積可以確定晶相含量，峰面積越大，晶相含量越高。此外，還可以使用謝樂公式根據衍射峰的半高寬來計算晶粒尺寸。
物相鑑定。物相鑑定通常是通過將所測得樣品圖譜與PDF卡片庫中的「標準卡片」進行對照來進行。這包括比較三強峰的峰位、峰強及樣品中的元素，以判定是否存在某種物相。
背底信號分析。在XRD圖中，背底信號通常是由於非晶態或無定形材料散射引起的，其強度相對較弱，與晶體衍射峰相比較弱。
此外，還有計算機自動檢索鑑定法等方法，其中電腦程式將樣品的實測數據與標準物相衍射資料庫進行對比，以確定物相。這些方法在材料科學、地質學和化學等領域有著廣泛的套用。