三氯化 矽（SiHCl3）是一 種重要的有 機 矽化合物，具有多 種用途，主要 包括：
半 導 體材料。三氯化 矽 用於 製備高 純度的多晶 矽和 單晶 矽， 這些 矽材料在半 導 體行 業中 廣泛 套用 於 晶片 製造和太 陽能 電池生 產。
有 機合成。三氯化 矽用作有 機合成的重要 試 劑， 用於 製備多 種有 機化合物，如 矽烷和 矽酮， 這些化合物在 醫 藥、 農 藥、 塗料等 領域有 廣泛 套用。
表面 處理和 塗 層工 藝。三氯化 矽可 用於在材料表面形成一 層 緻密的 矽氧化物薄膜，提高材料的耐 熱性、耐腐 蝕性和 機械性能， 這 種技 術在航空航天、汽 車 製造和 電子行 業等 領域有 廣泛 套用。
矽化合物生 產。三氯化 矽 用於 製備 矽酸酯和 矽橡 膠， 矽酸酯是一 種重要的 無 機 膠粘 劑和密封 劑， 矽橡 膠 則具有 優 異的耐高 溫性能和橡 膠 彈性，被 廣泛 用於 製造密封件、橡 膠製品和 絕 緣材料等。
此外，三氯化 矽 還可 用於其他 套用，如作 為催化 劑或反 應中的 試 劑 參 與有 機反 應，以及 用於生 產 矽烷偶 聯 劑等。