乾式渦旋泵或乾式真空泵
乾泵，也稱為乾式渦旋泵或乾式真空泵，是一種能夠在大氣壓到10-2Pa的壓力範圍內工作的設備。
乾泵在泵的抽氣流道（如泵腔）中不使用任何油類和液體，其排氣口與大氣相通，可以連續向大氣中排氣。乾泵的主要特點是泵腔內沒有任何潤滑油，通過機械運動或迴旋輪的方式將氣體壓縮並排出，其氣體排放口直接排放到大氣環境中。乾泵適用於處理乾淨的氣體，不含粒子和液體，它不需要潤滑油，因此可以避免油污染和油蒸氣對真空系統的影響。乾泵廣泛套用於半導體、光電子學、食品和醫療器械等行業。它的優點包括廣泛的適用性、低成本、高效性能等。