什麼是薄膜應力

薄膜應力是指薄膜在其製備和使用過程中受到的內部應力。

這種應力主要是由於薄膜與基底或薄膜內部不同層之間熱膨脹係數的差異、晶格失配、沉積速率變化或表面能等因素引起的。薄膜應力可以分為壓應力和拉應力兩種基本類型，壓應力是薄膜受到的表面壓力大於其內部張力，而拉應力則相反。薄膜應力的形成是一個複雜的過程，它會影響薄膜的形狀、尺寸穩定性、機械性能、電子結構和光學性質等。因此，在薄膜材料的製備和套用中，對薄膜應力的控制和理解是非常重要的。