超純水是指電阻率達到18 MΩ*cm（25℃）的水，這種水中除了水分子外，幾乎沒有什麼雜質，更沒有細菌、病毒、含氯二噁英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質微量元素，也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。超純水無硬度，口感較甜，又常稱爲軟水，可直接飲用，也可煮沸飲用。超純水可以用於超純材料（如半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等）的製備過程，在集成電路工業中用於半導體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的製備和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固態電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的製作也都要使用超純水。