光掩模基板是 什麼

感光性空白板

光掩模基板是微 電子 製造中 用於 製作微 細光掩膜 圖形的感光性空白板。

光掩模基板通常由高 純度、低反射率、低 熱膨 脹 係數的材料 製成，如合成石英、硼 矽玻璃或 蘇打玻璃。 這 種基板是光刻工 藝中的 關 鍵 組件， 用於 製作 電路 圖案的副本， 這些副本 隨 後被 轉印到 晶片或液晶面板的基板上， 從而 實 現批量化生 產。光掩模基板的主要功能是通 過其上的遮光膜 控制光的透射或反射， 從而在基板上形成所需的 圖像。