反肖特基缺陷是一種特殊的晶體缺陷，其特點如下：
定義：反肖特基缺陷，也稱為間隙原子缺陷，是指晶體的表面原子通過接力運動移到晶體的間隙位置。
形成條件：
形成反肖特基缺陷需要較大的能量，因此除了小半徑雜質原子外，一般不易單獨形成此種缺陷。
與肖特基缺陷的關係：反肖特基缺陷與肖特基缺陷相對應，後者是指晶體內部原子移到表面或其它空位中。
影響：由於形成間隙原子需要較大的能量，反肖特基缺陷在晶體中較為罕見。這種缺陷對晶體的物理和化學性質有重要影響，但具體影響取決於缺陷的類型和濃度。
綜上所述，反肖特基缺陷是晶體中一種重要的點缺陷，其形成條件和影響是研究晶體性質時需要考慮的重要因素。