四氟化碳（CF4）是一種重要的化學物質，具有多種用途：
在微電子工業中，四氟化碳主要用作等離子蝕刻氣體，可以套用於矽、二氧化矽、氮化矽、磷矽玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，這種套用在積體電路清洗、電子器件表面清洗、太陽能電池板製造等領域非常重要。
由於其化學穩定性，四氟化碳也被用於金屬冶煉和塑膠行業，如銅、不鏽鋼、碳鋼、鋁和蒙乃爾等金屬的冶煉，以及合成橡膠、氯丁橡膠和聚氨基甲酸乙酯等塑膠的製造。
作為一種無色、無臭、無毒的氣體，四氟化碳在空氣中不燃燒，化學性質不活潑，因此也被用作製冷劑，尤其適用於要求溫度非常低的深冷設備，如科研製冷、醫用製冷等。
在消防領域，四氟化碳作為一種重要的消防滅火劑，可以在遇到火災時迅速產生大量氣體，形成熱惰性氣霧，達到滅火效果。
由於其出色的潤滑性能，四氟化碳還常用作潤滑劑，尤其適用於高溫和高壓環境。
此外，四氟化碳還被用於製造特種材料，如在纖維製造和塑膠製造領域，用於生產高性能、高強度的材料和複合材料。