回程誤差，也稱為滯後誤差或死區，是測量設備回響特性的一種指標。它發生在相同條件下，對同一尺寸進行正向和反向測量時，由於測量器具的結構原因，其指示值不可能完全相同。這種誤差是由於傳動螺桿與齒輪之間或齒輪與齒輪之間的咬合空隙，導致主動裝置運動了而被動裝置並沒有產生運動。在實驗中，它可能表現為讀數發生變化，而實際上裝置並沒有移動，這通常會導致實驗數據偏大。
回程誤差的計算方法很簡單，只需要使用返回值與真實值之間的差值即可。例如，如果測量值為100，實際值為98，則回程誤差為2。
為了減小回程誤差，可以採取一系列措施，例如採用高精度的加工工藝、最佳化機械結構設計、改進控制算法、加強溫度補償等。