將均四甲苯氧化制均苯四甲酸二酐的方法包括：在催化劑的作用下，將均四甲苯與氧氣進行氣相催化氧化反應。
這個反應通常在200~220℃的溫度和0.5~0.6MPa的壓力下進行，均四甲苯在催化劑存在下轉化為均苯四甲酸，然後，在90~95℃的溫度下，將均苯四甲酸與水反應，通過活性炭脫色和連續過濾，得到高純度的均苯四甲酸晶體，之後，在120~130℃和0.02~0.03MPa的壓力下，將均苯四甲酸進行脫水處理，轉化為均苯四甲酸二酐，其純度可達99.5%，收率約為95%。
此外，也有採用低溫液相連續氧化生產均苯四甲酸二酐的方法，這種方法涉及將均四甲苯、醋酸和特定催化劑的混合液連續輸入反應塔中，在236.25kg的均四甲苯和1260.75kg的醋酸存在下，通過連續通入富氧氣體（氧氣體積含量為21%的氮氧混合氣體）來維持反應條件，在250℃和1.5MPa的壓力下進行催化反應，生成的均苯四甲酸密度小，浮於液面上層，然後通過閃蒸和連續重結晶過程，得到高純度的均苯四甲酸二酐，其純度可達99.9%，收率約為97%。