天線效應,全稱工藝天線效應(PAE,process antenna effect),是一種在半導體芯片製造過程中可能發生的效應。
當芯片製造過程中的金屬線條或多晶硅等導體暴露並連接到晶體管的柵極時,它們就像天線一樣,會收集等離子刻蝕過程中產生的帶電粒子,導致電位升高。這些導體越長,收集的電荷就越多,產生的電壓也就越高。如果這些導體只連接到晶體管的柵極,高電壓可能會擊穿柵極上的薄氧化層,導致晶體管失效。隨着半導體工藝技術的進步,晶體管尺寸的減小和金屬層數的增加,天線效應發生的概率也隨之增加。這種效應會影響產品的產量和可靠性。