臭氧的產生主要有自然產生和人爲產生兩種方式。以下是詳細信息：
自然產生。臭氧主要存在於距地球表面約20公里的臭氧層中，其含量約爲50ppm，臭氧層中的臭氧是由太陽光中的紫外線照射氧氣(O2)產生的，即太陽光中的紫外線具有很強的能量，可以將氧氣分子(O2)分解成兩個氧原子(O)，這些氧原子(O)是一種非常活潑的物質，可以與氧氣分子(O2)重新結合生成臭氧(O3)，O2 + UV → 2O → O3。
人爲產生。近地面的臭氧主要由氮氧化物(NOx)和揮發性有機物(VOCs)之間的光化學反應產生，氮氧化物(NOx)和揮發性有機物(VOCs)等物質在大氣化學反應的作用下，會生成臭氧(O3)，這個過程通常在大氣較低的部分發生，形成的臭氧會逐漸向下擴散，並對人類生活環境產生影響。
此外，雷電、森林火災等自然現象也會產生臭氧，例如，當閃電擊中大氣中的水滴時，會生成臭氧和其他氧化物，這種自然生成的臭氧在短時間內能夠達到較高的濃度，但隨着空氣流動和擴散，通常會迅速消散。