工廠廢氣的成分多種多樣，具體取決於工廠的生產過程和使用的原料。常見的廢氣成分包括：
碳氫化合物。如烷烴、烯烴和芳香烴。
氮氧化物和硫氧化物。如一氧化氮（NO）、二氧化氮（NO2）、二氧化硫（SO2）、三氧化硫（SO3）等。
酸霧。如氯化氫（HCl）、氟化氫（HF）、硫酸（H2SO4）、硝酸（HNO3）等。
顆粒物。如粉塵、煙霧、菸灰等。
重金屬和鹽類。如鉛（Pb）、汞（Hg）、鈹化物等。
燃料燃燒產生的廢氣還可能含有未完全燃燒的碳氫化合物和其他殘餘物。
這些廢氣成分排放到大氣中，會對環境和人類健康造成嚴重影響，例如形成酸雨、光化學煙霧等污染物。因此，對於工廠廢氣的處理和淨化是非常重要的。