平面度意思

平面度是指實際平面相對於理想平面的變動量，這個變動量是由於基片上的巨觀凹凸高度引起的。理想平面的位置應符合最小條件。平面度是限制實際平面對其理想平面變動量的一項指標，用來控制被測實際平面的形狀誤差。