平面磨床的精度通常取決於其類型和大小。大型平面磨床的精度可以達到0.02毫米，而小型平面磨床的精度可以達到0.001毫米。在平面磨床上，精度可以通過多種指標來衡量，包括平面度、直線度、平行度、垂直度、角度、圓度和圓柱度等。
平面度是表面與規定平面之間的最大距離，在普通平面磨床中，平面度一般規定為0.01~0.02mm，而在高精度平面磨床中，則可以做到0.001mm以下。直線度、平行度和垂直度的誤差一般控制在0.02mm以內，而角度則是0.5′以上。圓度和圓柱度的誤差一般控制在0.02mm以內，但在高精度平面磨床中，則可以做到0.005mm以下。
此外，還有徑向跳動誤差，這是指磨頭在磨削輪轉過程中因輪系、主軸加工裝置、磨頭等原因所引起的磨削麵的波動誤差，在普通平面磨床中，徑向跳動誤差一般控制在0.002~0.003mm以內，而在高精度平面磨床中，則可以做到0.001mm以下。
總的來說，平面磨床的精度是一個綜合指標，涵蓋了多個方面的性能，包括幾何精度、運動精度和表面粗糙度等。