微系統技術，簡稱MST，是一項多學科交叉的新興高新技術，它以微納尺度理論為支撐，以微納製造及工藝為基礎，並融合了微機械、微電子、微光學、微能源、微流動等多種技術。
微系統技術通過功能模組的集成，實現了微感知、微處理、微控制、微傳輸、微對抗等功能，能夠滿足單一或多類用途的需求。這種技術不僅在信息、生物、航天、軍事等領域具有廣泛的套用前景，而且對於國家保持技術領先優勢具有重要意義。微系統技術包括微感測器、微執行器、微機械、微電器、雷射學、微加工等關鍵組成部分，是發展新一代計算、先進機器人、智慧型化系統的核心技術。它通過系統架構和算法軟體，將微電子、光電子、微機電等技術集成，形成多功能一體化系統，推動了產品微型化和智慧型化的發展，對節能節材和提高產品附加值具有重要影響。