惰性元素是指那些在元素周期表上具有滿殼層電子的元素，它們通常不易與其他元素結合形成化合物。然而，在特定條件下，惰性元素也可以形成化合物。
氦（He）：氦是元素周期表第2號元素，因其滿殼層的電子結構具有極強的化學惰性，極難與其他元素結合形成化合物。近年來，研究表明在極端高壓條件下，氦可以與其他元素形成穩定的化合物，如FeO2He和He-H2O。
氙（Xe）：1962年，巴特萊特將氙和六氟化鉑在室溫下直接反應，生成了第一個含有惰性元素的化合物FXe+[Pt2Fu]－。此外，氙具有多種氧化態，包括+2、+4、+6、+8。
氪（Kr）：氪與氡的化合物也被發現。
氡（Rn）：氡是一種放射性元素，雖然它不是氣體，但在特定條件下也可能與其他元素形成化合物。
其他惰性氣體如氖（Ne）、氬（Ar）等，在常溫常壓下很難進行化學反應，但也可能在特殊條件下形成化合物。