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掩膜板是什麼

掩膜板,也被稱為光罩、光掩模、光刻掩膜版等,是微電子製造中光刻工藝所使用的圖形母版。

掩膜板通常由透明的基板和不透明的遮光薄膜組成,不透明的遮光薄膜在透明基板上形成特定的掩膜圖形。在製造過程中,通過曝光的方式,掩膜板上的圖形被精確地轉印到產品基板上,如半導體晶片平板顯示板電路板等行業的生產中。掩膜板在製造過程中發揮著至關重要的作用,其精度和質量直接影響最終產品的性能和品質。