掩膜版是什麼

掩膜版，也被稱為光罩、光刻掩膜版或簡稱為掩模，是微電子製造中光刻工藝所使用的圖形母版。

掩膜版通常由石英玻璃管作為襯底，在其上覆蓋一層金屬（如鉻）和感光膠，形成帶有特定圖案的透明和不透明區域，這些圖案用於實現對光線的遮擋或透過功能，以便在光刻過程中將特定的圖形精確地轉移到光致抗蝕劑塗層上。掩膜版在半導體製造、印刷電路板生產等多個領域中發揮著關鍵作用。