方波失真的原因主要包括以下幾個方面：
信號發生器的限制。信號發生器的輸出能力有限，可能無法完全產生理想的方波信號。在產生方波時，信號發生器可能會受到電壓、電流、頻率和阻抗等方面的限制，導致方波信號的失真。
傳輸線路的影響。方波信號在傳輸過程中會受到線路的影響，導致波形失真。
示波器或探頭的問題。使用無源探頭時，如果未進行探頭校準，探頭的電容與示波器輸入電容之間可能不匹配，導致阻抗不匹配，引起高頻反射，進而導致方波失真。
此外，任何從信號源到測試方法的相關環節問題都有可能導致方波失真。例如，高頻分量的損失、阻抗不匹配、探頭校準不當等都可能導致方波失真。