氧氣變爲臭氧的過程主要有兩種方式：
自然產生：
太陽光中的紫外線（UV）具有強大的能量，能夠將氧氣分子（O2）分解成兩個氧原子（O）。
這些氧原子（O）隨後與氧氣分子（O2）重新結合，形成臭氧（O3）。
這個過程可以表示爲：O2 + UV → 2O → O + O2 → O3。
人爲產生：
在近地面，氮氧化物（NOx）和揮發性有機物（VOCs）在陽光照射下發生光化學反應，生成臭氧（O3）。
這個過程可以表示爲：NO + VOCs → NO2 + R → NO + O → O2 → O3。
此外，自然界中的一些現象，如雷電和森林火災，也能產生臭氧。雷電擊中大氣中的水滴時，會生成臭氧和其他氧化物。這種自然生成的臭氧在短時間內能達到較高的濃度，但會迅速消散。
需要注意的是，臭氧的生成和消耗是一箇動態平衡過程。臭氧層中的臭氧是由太陽光中的紫外線照射氧氣產生的，而臭氧的消耗過程是當臭氧分子（O3）吸收紫外線後，分解成氧分子（O2）和單個的氧原子（O），然後這些氧原子又可以與氧分子結合，生成新的臭氧分子。