氮化作用主要指通過在材料表面形成一層氮化物層來改善材料性能的過程。具體來說，氮化作用可以提高材料的硬度和耐磨性，增加材料的耐腐蝕性，提高疲勞壽命，且不會改變材料的形狀和尺寸。這種處理適用於多種材料，如鋼、鐵、銅、鋁等。
氮化處理在金屬表面形成的高密度氮化層具有高硬度、高熔點和高化學穩定性，能有效阻擋腐蝕介質與金屬表面的直接接觸，從而提高金屬的硬度和耐磨性，延長使用壽命。此外，氮化層內的壓應力可以提高零件的抗疲勞能力，減少模具與零件的粘合現象，延長模具的工作壽命。
在更具體的套用場景中，例如在生長ZnO薄膜的過程中，氮化可以提高薄膜的質量，減小XRD的半高寬，增強CL譜的紫外發光，減弱深缺陷發光。